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高质量GaN制备技术

　　半导体材料是现代信息及微电子产业的基础，基于半导体材料的发展历程，目前通常将其划分为三代材料：以Si,Ge为代表的第一代半导体材料，以GaAs为代表的第二代半导体材料及以GaN为代表的第三代半导体材料。其主要物理参数如下表所示。　　　其中Si是目..

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