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  • 序号

    专利号

    专利名称

    授权公告日

  • 1

    200410009840.0

    GaN基外延层的大面积、低功率激光剥离方法

    2009-02-18

  • 2

    200610144316.3

    一种制备氮化镓单晶衬底的方法

    2009-06-24

  • 3

    200610167605.5

    在异质基底上制备高质量GaN单晶厚膜的方法

    2009-06-24

  • 4

    200810225953.2

    利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法

    2012-01-25

  • 5

    201010617286.X

    一种多片大尺寸氢化物气相外延方法和装置

    2012-06-13

  • 6

    201010617788.2

    改进的激光准剥离消除GaN外延片残余应力的方法

    2012-06-13

  • 7

    201120349715.X

    一种用多管道液体冷却及温度控制的法兰装置

    2012-06-13

  • 8

    201120349762.4

    一种免拆装在线清洁的新型过滤装置

    2012-06-13

  • 9

    201120355244.3

    一种石英管与金属体连接结构

    2012-06-13

  • 10

    201010618011.8

    一种退火装置和方法

    2012-07-11

  • 11

    201010617807.1

    独立的金属源系统向半导体生长设备提供金属源气体的方法

    2012-07-18

  • 12

    201220004381.7

    一种自动送料装置

    2012-10-10

  • 13

    201110142242.0

    狭缝式多气体输运喷头结构

    2012-11-21

  • 14

    201110276973.4

    一种用于半导体外延系统的基座

    2013-01-09

  • 15

    201220221883.5

    一种气相外延设备进行材料生长的控制系统

    2013-02-06

  • 16

    201220320302.3

    一种晶片托盘

    2013-03-13

  • 17

    201220320305.7

    一种使气体快速加热至高温的装置

    2013-03-13

  • 18

    201110102031.4

    一种图形化衬底

    2013-04-10

  • 19

    201220573278.4

    气相外延材料生长多腔分步式处理装置

    2013-06-19

  • 20

    201010617738.4

    一种含氯化铵尾气的处理方法及其设备

    2013-07-24

  • 21

    201010617750.5

    图形化GaN衬底的制备方法

    2013-08-28

  • 22

    201110453183.9

    一种单接触式自转公转基舟

    2013-10-30

  • 23

    200910136458.9

    固体激光剥离和切割一体化设备

    2014-03-12

  • 24

    201330477184.7

    一种雾灯

    2014-06-11

  • 25

    201320727092.4

    一种安全高效的晶片夹具

    2014-07-10

  • 26

    201210151216.9

    采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法

    2014-08-27

  • 27

    201420457076.2

    一种便于更换可混合使用加热方式的加热装置

    2015-01-21

  • 28

    201420262140.1

    一种用于晶圆片研磨抛光的支撑底座

    2015-01-28

  • 29

    201210306671.1

    一种通过缺陷应力去除技术自分离氮化镓单晶材料制备自支撑衬底的方法

    2015-02-18

  • 30

    201420562470.2

    一种用于晶圆外延生长的分离式支撑底座

    2015-02-18

  • 31

    201210319877.8

    一种高温生长晶片的卸载装置及其卸载方式

    2015-04-22

  • 32

    201210533750.6

    一种制备隐形结构衬底的方法

    2015-04-22

  • 33

    201210274906.3

    具有车距安全功能激光雾灯

    2015-05-20

  • 34

    201210309119.8

    一种适用于GaN材料外延产业化的托舟

    2015-05-20

  • 35

    201210559376.7

    一种高温环境下使用的液位控制装置

    2015-07-22

  • 36

    201520162543.3

    一种转移过程同期图形化的GaN基复合衬底

    2015-07-29

  • 37

    201520162977.3

    一种阵列化转移的GaN基复合衬底

    2015-08-19

  • 38

    201520264359.X

    一种含有扩散阻挡层的GaN基复合衬底

    2015-08-19

  • 39

    201310012395.2

    一种材料气相外延用方形喷头结构

    2015-09-16

  • 40

    201520213249.0

    一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头

    2015-09-16

  • 41

    201210559395.X

    一种操作简易的晶片夹具

    2015-10-07

  • 42

    201210303314.X

    用于改良外延过程中衬底晶片表面温场的方法 2

    2015-11-04

  • 43

    201310318526.X

    一种液体辅助激光剥离方法

    2015-11-25

  • 44

    201210068033.0

    一种用于GaN生长的复合衬底的制备方法

    2016-01-20

  • 45

    201210559456.2

    一种晶片专用三夹头夹具

    2016-01-27

  • 46

    201210559378.6

    半导体及微电子行业耐高温防滑夹具

    2016-02-10

  • 47

    201310394554.X

    一种改进多片式外延材料厚度分布均匀性的氢化物气相沉积装置与方法

    2016-02-10

  • 48

    201520798181.7

    一种用于石英外套管安装的夹具

    2016-03-02

  • 49

    201410028993.3

    一种氮化物半导体材料气相外延用反应器设计及方法

    2016-04-27

  • 50

    201520962682.4

    一种大直径石英外套筒安装的辅助夹具

    2016-04-27

  • 51

    201521002074.5

    一种用于夹持石英腔体的安装装置

    2016-04-27

  • 52

    201310012409.0

    一种材料气相外延用扇形喷头结构

    2016-05-11

  • 53

    201310542018.X

    一种前驱物流场控制棒

    2016-05-11

  • 54

    201410031343.4

    一种用于氢化物气相外延的反应器

    2016-05-18

  • 55

    201210559394.5

    一种多夹头晶片夹具

    2016-06-01

  • 56

    201310601124.0

    一种可控前驱物通道

    2016-06-01

  • 57

    201210255792.8

    一种带有防止金属扩散保护层的复合衬底

    2016-06-27

  • 58

    201210119613.8

    一种制备GaN生长用图形化蓝宝石衬底的方法

    2016-06-29

  • 59

    200910136457.4

    固体激光剥离设备和剥离方法

    2016-06-29

  • 60

    201410398217.2

    一种利于稳定转化率的反应装置

    2016-08-24

  • 61

    201410196612.2

    一种可控反应物均匀分布的双通道喷口结构

    2016-09-28

  • 62

    201620797442.8

    一种提高氯化氢转化为氮化镓效率的装置

    2017-01-18

  • 63

    201410004051.1

    一种新型图形化衬底及其制备方法

    2017-02-08

  • 64

    201720349115

    一种氢化物气相外延石墨舟结构

    2017-12-29

  • 65

    201510656861.X

    一种联动可调节的隔热保温装置及使用方法

    2018-01-09

  • 66

    201610017711.9

    一种氮化物单晶生长装置和方法

    2018-01-23

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