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高質量GaN制備技術

　半導體材料是現代信息及微電子產業的基礎，基於半導體材料的發展歷程，目前通常將其劃分為三代材料：以Si,Ge為代表的第壹代半導體材料，以GaAs為代表的第二代半導體材料及以GaN為代表的第三代半導體材料。其主要物理參數如下表所示。　　　其中Si是目..

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