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序號
專利號
專利名稱
授權公告日
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66
201610017711.9
一種氮化物單晶生長裝置和方法
2018-01-23
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65
201510656861.X
一種聯動可調節的隔熱保溫裝置及使用方法
2018-01-09
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64
201720349115
一種氫化物氣相外延石墨舟結構
2017-12-29
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63
201410004051.1
一種新型圖形化襯底及其制備方法
2017-02-08
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63
201620797442.8
一種提高氯化氫轉化為氮化鎵效率的裝置
2017-01-18
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61
201410196612.2
一種可控反應物均勻分布的雙通道噴口結構
2016-09-28
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60
201410398217.2
一種利於穩定轉化率的反應裝置
2016-08-24
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59
200910136457.4
固體激光剝離設備和剝離方法
2016-06-29
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56
201310601124.0
一種可控前驅物通道
2016-06-01
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55
201210559394.5
一種多夾頭晶片夾具
2016-06-01
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54
201410031343.4
一種用於氫化物氣相外延的反應器
2016-05-18
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53
201310542018.X
一種前驅物流場控制棒
2016-05-11
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52
201310012409.0
一種材料氣相外延用扇形噴頭結構
2016-05-11
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51
201521002074.5
一種用於夾持石英腔體的安裝裝置
2016-04-27
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50
201520962682.4
一種大直徑石英外套筒安裝的輔助夾具
2016-04-27
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49
201410028993.3
一種氮化物半導體材料氣相外延用反應器設計及方法
2016-04-27
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48
201520798181.7
一種用於石英外套管安裝的夾具
2016-03-02
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47
201310394554.X
一種改進多片式外延材料厚度分布均勻性的氫化物氣相沈積裝置與方法
2016-02-10
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46
201210559378.6
半導體及微電子行業耐高溫防滑夾具
2016-02-10
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45
201210559456.2
一種晶片專用三夾頭夾具
2016-01-27
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44
201310318526.X
一種液體輔助激光剝離方法
2015-11-25
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42
201210303314.X
用于改良外延过程中衬底晶片表面温场的方法 2
2015-11-04
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41
201210559395.X
一種操作簡易的晶片夾具
2015-10-07
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40
201520213249.0
一種新型的MOCVD噴淋頭清潔用刷頭
2015-09-16
